在这个问题中，$\oplus$ 用于表示两个数字的按位异或。
从空白纸开始重复执行以下操作：

1. 写下目前纸上没有的最小正整数$a$；
2. 找到最小的正整数 $b$，使得 $b$ 和 $(a\oplus b)$ 当前都不在纸上。然后写下 $b$ 和 $(a\oplus b)$。

第一轮结束后，$\{1,2,3\}$ 将写在纸上。第二轮 $a=4$ 且由于 $(4\oplus 5)$, $(4\oplus 6)$ 和 $(4\oplus 7)$ 都已写入，$b$ 必定为 $8$。

$n$ 轮后，纸上将出现 $3n$ 数字。它们的总和由 $M(n)$ 表示。
例如，$M(10)=642$ 和 $M(1000)=5432148$。

查找 $M({10}^{18})$。 将答案模 $1000000007$。